?氫敏熱脫附光譜系統(tǒng)（英文：Hydrogen-sensitive Thermal Desorb Spectroscopy System）檢測樣品受熱時從樣品表面脫附的氫氣，分析樣品中所含氫氣的量以及氫氣吸附和脫附的機理這是一個可以讓您獲取信息的設備。

設備主要由真空室、樣品加熱機構、排氣系統(tǒng)、四極桿質譜儀等組成。

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應用領域之一是半導體器件。在該領域，氫被認為是最難控制的雜質，由于其檢測困難，其對器件性能的影響一直被忽視。

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然而，近年來，有報道稱雜質氫是薄膜晶體管中操作不穩(wěn)定和無意載流子摻雜的原因，并且雜質氫的重要性開始被認識到。

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進一步提高器件質量和開發(fā)下一代器件需要高靈敏度的氫檢測，而氫解吸分析儀可以滿足這一需求。與其他方法相比還具有成本低、設備配置簡單等優(yōu)點。其他應用領域包括石墨烯等先進薄膜材料。