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什么是激光顯微鏡?

??激光顯微鏡是一種光學(xué)顯微鏡,可讓您通過(guò)光源掃描激光束來(lái)觀察樣品。

它一般采用共焦光學(xué)系統(tǒng),也稱(chēng)為共焦激光顯微鏡或CLSM。激光顯微鏡采用共焦光學(xué)系統(tǒng)排除非焦平面的光,因此它不僅在水平XY方向上具有高空間分辨率,而且在高度Z方向上也具有高空間分辨率。

因此,通過(guò)在高度方向上移動(dòng)顯微鏡圖像的同時(shí)測(cè)量顯微鏡圖像,也可以獲得3D圖像和全焦點(diǎn)圖像。

激光顯微鏡的應(yīng)用

激光顯微鏡使用光進(jìn)行測(cè)量,因此無(wú)需接觸樣品。因此,在工業(yè)領(lǐng)域用于觀察半導(dǎo)體、電子元件等精密設(shè)備的三維形狀和表面形狀,在生命科學(xué)領(lǐng)域用于觀察熒光物質(zhì)標(biāo)記的細(xì)胞和生物組織.

此外,根據(jù)制造商的不同,可以定制激光顯微鏡的測(cè)量臺(tái),從而可以測(cè)量大型樣品,例如大型平板顯示器。激光顯微鏡的結(jié)構(gòu)與典型顯微鏡類(lèi)似,例如透鏡和鏡子,但它使用激光作為光源,并設(shè)計(jì)為共焦光學(xué)系統(tǒng)。激光具有相同的波長(zhǎng)和相位,具有優(yōu)良的單色性、方向性和直線傳播的特點(diǎn)。

普通光具有不同的相位和波長(zhǎng),因此光路永遠(yuǎn)不會(huì)對(duì)齊,照射樣品產(chǎn)生的反射光與散射光重疊,無(wú)法獲得清晰的圖像。另一方面,對(duì)于激光顯微鏡,通過(guò)在反射光穿過(guò)透鏡并從樣品反射后聚焦的位置安裝針孔,可以去除多余的光,例如散射光。因此,您可以獲得輪廓清晰的美麗圖像。

此外,當(dāng)使用激光顯微鏡獲得二維圖像時(shí),有兩種方法:移動(dòng)載物臺(tái)和移動(dòng)激光機(jī)構(gòu)。各自的特點(diǎn)如下。

  • 移動(dòng)載物臺(tái)的方法
    雖然可以測(cè)量大范圍的區(qū)域,但載物臺(tái)的尺寸有限,因此無(wú)法測(cè)量大樣本。
  • 移動(dòng)激光機(jī)構(gòu)的方法
    除了能夠測(cè)量各種尺寸的樣品外,還可以測(cè)量表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)。使用激光顯微鏡進(jìn)行掃描的方法有很多種。例如,使用檢流計(jì)鏡進(jìn)行掃描會(huì)機(jī)械地移動(dòng)鏡子,但 MEMS 掃描儀或共振掃描儀也可以加快該過(guò)程。

    旋轉(zhuǎn)圓盤(pán)法適用于高速測(cè)量,是一種將激光束照射到排列有許多微透鏡和針孔陣列的圓盤(pán)上,同時(shí)拾取大量從樣品反射的光的方法。時(shí)間。雖然這種方法可以一次性獲得大量信息,但需要強(qiáng)度足夠大的高功率激光才能擴(kuò)散到一定程度。

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